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TSI粒子計數器的廣泛用途及原理
  • 發布日期:2016-10-25      瀏覽次數:171
    • TSI粒子計數器是用于測量潔凈環境中單位體積內塵埃粒子數和粒徑分布的儀器。TSI粒子計數器可廣泛應用于為各省市藥檢所、血液中心、防疫站、疾控中心、質量監督所等機構、電子行業、制藥車間、半導體、光學或精密機械加工、塑膠、噴漆、醫院、環保、檢驗所等生產企業和科研部門。
      TSI粒子計數器由顯微鏡發展而來,經歷了顯微鏡、沉降管、沉降儀、離心沉降儀、顆粒計數器、激光空氣粒子計數器、PCS納米激光空氣粒子計數器的過程,其中因激光空氣粒子計數器測試速度快、動態分布寬、不受人為影響等各方面的優勢,而成為很多行業的主流產品。
      TSI粒子計數器物污染是許多行業生產及加工工藝中主要的污染來源,準確評價空氣潔凈度已經成為許多行業生產和產品檢測的要求。如在電子行業及芯片制造工業中,TSI粒子計數器氣體中微小顆粒物的沉積就會造成電氣不良特性甚至更大的破壞。特別是近年來芯片線寬已經達到微米和亞微米級,這就對廠房內的空氣潔凈度提出了更高的要求。
      TSI粒子計數器就是用于測量潔凈環境中單位體積內塵埃粒子數和粒徑分布的儀器。 據估計,我國現有的TSI粒子計數器生產廠家有10余家,國內使用的臺件數量應不少于3萬臺,這些廠家及用戶具有很強烈的校準檢測需求。要保證空氣中塵埃顆粒測量的準確性,首先需要確保TSI粒子計數器本身的準確和可溯源。中國計量院完成的這項研究,建立了標準TSI粒子計數器校準裝置,實現了對標準粒子計數器的粒子計數示值誤差、粒徑檔設定相對誤差、粒徑測量分辨力校準項目的檢定和校準,不確定度為6.0%(k=2),優于國外相同計量校準裝置的技術水平。同時,他們還建立了工作級粒子計數器校準裝置,實現對工作級(實驗室用、便攜式)粒子計數器粒子計數示值誤差的有效校準。 
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